第230章 流片成功!(3 / 3)

作工作的,还是车间内等待的同志,都已经空了一整天肚子。

但这会儿众人非但不累,反而愈发激动与紧张!

随着吴培书将蚀刻后剩余的光刻胶彻底除去,清洗干净后的硅片被送到进口的高倍率显微镜下。

沈永健此刻已等在此处,调整着显微镜的焦距,进行最后的测试工作。

镜头在硅片表面缓慢移动,车间里鸦雀无声,只能听到自己的心跳和呼吸声。

每个人都死死盯着沈永健的背影和他放在目镜上的手。

卓邵文,顾江海与吴培书等人也已退出操作区,等在边上同样大气不敢出,眼神里满是期待和忐忑。

时间一分一秒过去,沈永健看得极其仔细,在几个关键区域反复观察。

由于低着头的缘故,众人虽看不到他表情,但却能看到他眉头不时的微蹙。

这沉默的几分钟对所有人来说都无比煎熬。

尤其是在沈永健紧锁眉头换第二片晶圆时,大家的心也跟着一点点往下沉。

都难得见沈总工这般严肃脸色,难不成是失败了?

直至一刻钟后,在沈永健将最后一片晶圆检查完成,眉头才舒展开来。

在众人的注视下,嘴角微微向上扬起,眼中闪烁着光芒,声音带着一种如释重负的喜悦。

“初次流片一共三片晶圆,第一片部分区域有毁损,算是失败。”

“还好后两片的图形清晰,线条完整,套刻精准,符合流片预期。”

“我宣布‘581-3’集成电路第一次流片…成功!”

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